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VAT 真空阀门
真空隔离阀5
角阀、内联式或圆柱式真空阀1
体积小巧，性能出众
角阀、内联式或圆柱式真空阀2
紧凑、节省空间、高效。
角阀、内联式或圆柱式真空阀3
适用于显示、光伏和大型镀膜系统的高性能
角阀、内联式或圆柱式真空阀4
适用于显示、光伏和大型镀膜系统的高性能
07.0
真空隔离阀2
门插件与LINVAT
适用于 EFEM 和负载锁定应用的高性能
07.7 大型
真空隔离阀3
插件与L-VAT
为显示器和光伏生产系统带来卓越性能
角阀、内联式或圆柱式真空阀7
为最新第 6 代显示器和光伏生产系统带来出色性能
角阀、内联式或圆柱式真空阀8
为网/膜生产系统带来高性能
04.2 高
真空隔离阀2
与L-VAT
适用于装载锁和工艺室隔离
04.3 高
真空隔离阀2
与L-MOTION
快速且精准，尤其适用于腐蚀性工艺
真空蝶阀1
适用于装载锁和工艺室隔离
05.3 高
真空隔离阀2
插件与L-MOTION
快速且精准，尤其适用于腐蚀性工艺
真空蝶阀3
为显示器生产系统带来高性能
真空蝶阀4
为显示器生产系统（大气压型）带来高性能
角阀、内联式或圆柱式真空阀3
适用于显示、光伏和大型镀膜系统的高性能
角阀、内联式或圆柱式真空阀4
适用于显示、光伏和大型镀膜系统的高性能
真空蝶阀7
用于储存环或微波传输线的可靠扇区隔离
真空蝶阀8
用于储存环或微波传输线的可靠扇区隔离
真空蝶阀9
适用于高温
真空摆阀0
适用于高温
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